測定方法：
①在防靜電的室內(丙烯樹脂制、不銹鋼制)設置氣缸
②提供與顆粒計數器吸入量（28.3/min）相同流量的潔凈空氣（0.1μm過濾器）
③在不動作狀態(tài)，確認顆粒計數器的值為“0”
④使氣缸動作,測量動作中產生的顆粒
※使用帶密封的測試室,以確保除氣缸發(fā)塵外,其他的顆粒不進入室內
測定條件：
空氣
氣缸驅動用：「等2.2.1」（JISB8392－1）
凈化用：「等2.2.1」＋0.1μｍ氣體過濾器
氣缸供應壓力：0.5MPa
氣缸動作速度：一般速度（200mm/s）
動作條件：無負荷、水平設置（與凈化流量平行）
對排氣處理型的溢流氣口配管，排放到測試室外
對真空除塵型的真空除塵氣口配管，進行真空除塵（－26KPa）
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